7月11日，重慶日報記者從兩江新區(qū)獲悉，可填補國內(nèi)中高端MEMS（微機電系統(tǒng)）半導體傳感器芯片空白的兩江智能裝備產(chǎn)業(yè)園，預計明年4月試生產(chǎn)，屆時將助力我國MEMS傳感器芯片研發(fā)與工藝達到世界先進水平。
該項目由中國四聯(lián)儀器儀表集團有限公司（以下簡稱“中國四聯(lián)”）投資，擬用地120畝，投產(chǎn)后預計年產(chǎn)能達5萬個晶圓，年產(chǎn)值6億元。
中國四聯(lián)相關(guān)負責人介紹，該項目將主要開展半導體傳感器芯片設(shè)計、制造工藝、專用裝備制造等全技術(shù)鏈條研究，建設(shè)具有國際先進水平的高端半導體傳感器芯片和智能儀器系統(tǒng)生產(chǎn)線、工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)設(shè)備健康管理大數(shù)據(jù)應用及服務平臺。
此外，該項目還將實現(xiàn)紫外-可見-近紅外系列微型光譜儀核心光學元器件、光學系統(tǒng)、專用采集卡、配套軟件、系統(tǒng)一體化集成裝調(diào)等核心部件的研發(fā)制造，并基于工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)和專家系統(tǒng)，利用機器學習、大數(shù)據(jù)智能化、物聯(lián)網(wǎng)等新技術(shù)，實現(xiàn)對設(shè)備全生命周期狀態(tài)監(jiān)測、故障診斷和健康管理。
該負責人表示，項目建成投產(chǎn)后，可使我國MEMS產(chǎn)品設(shè)計和制造工藝由碎片化走向連續(xù)化、系統(tǒng)化，為國內(nèi)高精度測量技術(shù)的深入研究和大數(shù)據(jù)、智能化發(fā)展奠定堅實基礎(chǔ)，進一步推動我國高端MEMS半導體傳感器全產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展。
